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首块晶圆的诞生(首块晶圆的诞生(第22页)程美丽坐在椅子上,被这冲天的嗓门吵得用手捂住了耳朵。她嚼碎嘴里的薄荷糖,没好气地白了李副部长一眼。“嚎什么。”“提纯只是第一步,切不出来薄片,这硅棒就是根烧火棍。”欢呼声戛然而止。李副部长搓了搓通红的脸颊,立刻朝后招手。“上切割机!快!”吊车缓缓移动,将那根沉重的单晶硅棒稳稳吊起,推入一旁的金刚石线切割机舱内。卡扣锁死。滋——!高压冷冻液喷涌而出,化作白色的水雾罩住整个切割区。金刚石线圈开始以肉眼难以捕捉的速度疯狂运转。极细的切割线狠狠咬进硅棒表面,发出令人牙酸的撕裂声。金属碎屑混着冷冻液,在防爆玻璃内壁上砸出一片泥泞。十分钟后。切割声停歇。机舱门弹开。第一批标准八英寸晶圆被机械抓手切下,整整齐齐地码放在无尘操作台的托盘内。每一片都薄如蝉翼,表面光洁如镜,倒映着车间刺眼的白光。程美丽站起身,走到无尘操作台前。她没有戴手套,而是直接用一把定制的防静电竹镊,捏起一片刚切好的晶圆。薄薄的硅片在她指尖转了半个圈。她将其平放在高倍电子显微镜的载物台上,低头凑近目镜。右侧的旋钮被她快速拧动,焦距在一瞬间锁定。显微镜下的视场里,晶圆表面的微观结构暴露无遗。程美丽看了一眼,眉头立刻拧成了一个死结。她直起身,把竹镊往托盘里重重一扔。啪!“废品。”两个字,轻飘飘地砸在操作台上。周围刚准备鼓掌的技术员们集体僵住,脸上的喜色瞬间凝固。李副部长急忙凑上来,声音发紧。“程工,哪里不对?”“平整度。”程美丽指着托盘里的那堆晶圆,语气冷得掉冰渣。“你们现在用的涂层工艺,药液分布存在明显的厚度落差。”她竖起一根手指。“01微米的平整度误差。”“这种表面,只要上了光刻机,光线一照就会产生衍射畸变。”“刻出来的电路不仅会短路,还会直接烧穿底板。”几个核心工程师脸色煞白,后背冒出一层冷汗。01微米的误差,在他们现有的认知里,已经是极限的极限。“这……”一名老工程师咽了一口唾沫。“程工,咱们现有的光刻胶配方粘稠度太高,旋涂机根本甩不平这01微米啊。”“甩不平就换配方。”程美丽没理会他们的难处,双手揣进白大褂的口袋里,闭上了眼睛。意识深处,系统面板瞬间亮起。她点开跨时代物资商城的检索栏。金色的商品图标在面板中央缓缓浮现,带着一股不可侵犯的科技威压。程美丽的指尖在虚空中毫不犹豫地按下确认键。她睁开眼,长长的睫毛在白炽灯下投下一片阴影。程美丽偏过头,看了一眼身侧的陆川。她嘴角微翘,指尖在金属操作台上不紧不慢地敲了两下。
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